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晶圆搬运机械手(大气)
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晶圆搬运机械手(大气)
Substrate Size
Arm Model
Aligner Model
Wafer
~200mm
UTC-R800
OFH-4102
~300mm
UT-AFX3000NM
UTM-R3700F
OFH-4100
EG-303
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