晶圆搬运机械手(真空) | |||
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Substrate Size | Arm Model | ||
Wafer | 200~300mm |
面板搬运机械手(大气) | |||
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可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm |
3kg | G2 | SPR-902S | |
5kg | G3/G4 | SPR-906S | |
8kg | SPR-9519 | ||
50kg | G5/G6 | SPR-9518 |
面板搬运机械手(真空) | |||||
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可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm | ||
无Z轴 | 有Z轴 | Link | Slide | ||
3kg | G3 | SPR-801S | SPR-804S | ||
10kg | G4 | SPR-806S | |||
15kg | G4.5 | SPR-811S |
SPR-8110 ![]() | ||
50kg | G5 |
SPR-8109 ![]() | SPR-8501S | ||
G6 |
SPR-8522 ![]() | ||||
70kg | G6 | SPR-8508 | |||
100kg | G7 |
SPR-8111 ![]() | |||
150kg | G6 |
SPR-8112 ![]() | SPR-8504 | ||
G6 |
SPR-8537 ![]() | ||||
G7.5 | SPR-8535 | ||||
200kg | G8.5 |
SPR-8534 ![]() | |||
300kg |
SPR-8524 ![]() | ||||
500kg | G10 |