| 大气晶圆搬运机器人 | ||||
|---|---|---|---|---|
| Substrate Size | Arm Model | Aligner Model | ||
| Wafer | ~200mm |
UTC-R800 |
|
OFH-4102i |
| ~300mm |
UT-AFX3000NM |
|||
| 真空晶圆搬运机器人 | |||
|---|---|---|---|
| Substrate Size | Arm Model | ||
| Wafer | 200~300mm | ||
| 大气玻璃面板搬运机器人 | |||
|---|---|---|---|
| 可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm |
| 3kg | G2 | SPR-902S | |
| 5kg | G3/G4 | SPR-906S | |
| 8kg | SPR-9519 | ||
| 50kg | G5/G6 | SPR-9518 | |
| 真空玻璃面板搬运机器人 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm | ||
| 无Z轴 | 有Z轴 | Link | Slide | ||
| 3kg | G3 | SPR-801S | SPR-804S | ||
| 10kg | G4 | SPR-806S | |||
| 15kg | G4.5 | SPR-811S |
SPR-8110
|
||
| 50kg | G5 |
SPR-8109
|
SPR-8501S | ||
| G6 |
SPR-8522
|
||||
| 70kg | G6 | SPR-8508 | |||
| 100kg | G7 |
SPR-8111
|
|||
| 150kg | G6 |
SPR-8112
|
SPR-8504 | ||
| G6 |
SPR-8537
|
||||
| G7.5 | SPR-8535 | ||||
| 200kg | G8.5 |
SPR-8534
|
|||
| 300kg |
SPR-8524
|
||||
| 500kg | G10 | ||||
| 等离子产生用电源 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 周波数/输出 | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | 10kW | 15kW | 30kW | 40kW | 90kW |
| 400kHz~1MHz帯 | |||||||||
| 2MHz~4MHz帯 | |||||||||
| 13.56MHz | RGA-30 | RGA-50 |
RGA-150 /300 |
RGA-150 /300 |
RGA-400 | ||||
| 27~60MHz帯 | AGA-30 | AGA-50 | FGA-150 | ||||||
| 100~200MHz帯 | |||||||||
| 2.45GHz |
SGP-10 /SGM-10 |
SVP-15 /SVM-15 |
SGP-30 /SGM-30 |
SGP-50 /SGM-50 |
|||||
| 自动整合器 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 周波数/输出 | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | 10kW | 15kW | 30kW | 40kW | 90kW |
| 400kHz~1MHz帯 | |||||||||
| 2MHz~4MHz帯 | |||||||||
| 13.56MHz | RMN-50 | RMN-200 | RMN-300 | ||||||
| 27~60MHz帯 | AMN-50 | ||||||||
| 100~200MHz帯 | |||||||||
| 2.45GHz |
SMA-10 /CMC-10 |
SMA-15 /CMC-10 |
SMA-30 /CMC-10 |
SMA-50 | |||||
苏公网安备 32058102001225号