达谊恒精密机械(常熟)有限公司
客服热线0512-5229-1008
UTPX-R5500
   详细介绍
UTPX-R5500i特点 
1桅杆式Z轴构造,实现低Passline搬运
2可对应光照基板等重量物体的搬运
   参数详解 ※1

型号 Model  UTPX-R5500
机械手臂形状 Robot Type  3-axis Cylindrical Coordinate
 Z轴 桅杆式 Z-axis unit mast type

动作范围

Operation Range

X-axis  430mm
θ-axis  300°
Z-axis  485mm

最大动作速度

Max. Operation Speed

X1, X2-axis  500mm/sec
θ-axis  100°/sec
Z-axis  120mm/sec

动作时间 

Cycle Time       


X1, X2-axis
 1.9sec/430mm
θ-axis  3.5sec/300°
Z-axis  4.4sec/485mm
往复位置精度 Repeatability  XYZ方向:各±0.1mm
 XYZ direction ±0.1mm each
可搬运重量 Payload  1.5kg/arm (含手爪   Including E/E)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 1 (ISO-14644)
本体重量 Mass  45kg
必要设施 Facilities

真空(吸付用)

Vacuum(for adsorption)

 -80kPaG or less, 10NL/min

真空(机器内部排气用)

Vacuum(for Purging)

 -80kPaG or less, 60NL/min
电源 Power  Single phase 170-230 VAC, 50/60Hz, 5A
设置环境 Environment 温度 Temperature  15-40℃
湿度 Humidity  20-80% (无结露)(No condensation)
※1 追加选配的情况下,搬运性能与标准不一样。

                大气晶圆搬运机器人
                                  Substrate Size                 Arm Model                 Aligner Model
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf


OFH-4102i
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTX-RF5501RWpdf
UTM-R3700F
UTX-RF5500RPpdf
UTW-REH5500pdf
UTPX-R5500 pdf

OFH-4100
EG-303
OFH-4100i2pdf

(有生产实际)

DAIHEN达谊恒精密机械(常熟)有限公司 版权所有   备案号:苏ICP备13025737号     苏公网安备 32058102001225号