达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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SPR-811S
   详细介绍
2轴圆柱坐标型
SPR-811S的特点
1 采用AC伺服马达以及通过最合适的加减速控制来实现高精度·高速搬运。
2 采用了磁流体密封,可以适合高真空环境。
3 采用高刚性手臂,可以对应mask搬运等,也可以对应重物的搬运。
   参数详解 ※1

机器人形状

 2轴圆柱坐标型

自重

 120kg

可搬重量

 15kg以下(含endeffector·holder

动作范围

X

 1740mm

θ

 330deg.

手臂长

 580mm

动作时间        
(不含通信时间)

X

 2.4sec./1740mm

θ

 2.1sec./180deg.

手臂水平精度(下垂)

 P-P6mm以下(安装holder,从法兰盘开始580mm的位置)

手臂轨迹精度(蛇行)

 ±3.0mm以下(安装holder,从法兰盘开始580mm的位置)

重复位置精度

 XYZ方向:±0.2mm以下(安装holder,从法兰盘开始580mm的位置)

清洁度

 ISO Class 4

耐真空度

 1.0×10-6Pa

周围温度

 真空侧::15℃70℃   大气侧:15℃35℃

耐振动

 4.9m/sec.²以内(0.5G以下)


真空玻璃面板搬运机器人
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z轴 有Z轴 Link Slide
3kg G3 SPR-801S SPR-804S    
10kg G4 SPR-806S      
15kg G4.5 SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6     SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf   SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5       SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        

(有生产实际)

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