客服热线
0512-5229-1008
网站首页
关于我们
企业简介
公司沿革
组织机构
资历证书
关联公司
寻求合作
新闻中心
产品中心
晶圆搬运机械手(大气)
晶圆搬运机械手(真空)
面板搬运机械手(大气)
面板搬运机械手(真空)
人才招聘
在线留言
在线留言
在线调查
联系我们
主页
>
产品中心
>
等离子产生用电源·自动整合器
SGP-10/SGM-10
详细介绍
SGP-10(HV Power Supply)/SGM-10(Magnetron Module)
对应2.45GHz/1kW
SGP-10/SGM-10的特点
1
面向等离子用途的高性能微波电源。
2
可以和本公司的自动整合器组合,通过feedback可以控制高稳定电力。
3
通过每个单元的兼容性确保,维护性好,磁控管的更换也很容易。
参数详解
※1
型式
SGP-10
SGM-10
输出周波数
2450±30MHz
定格输出
1kW
输出稳定度
对于电源电压的
±10%
以内的变动是
±1%
以下
输出精度
设定输出的
±3%
以内
(100
~
1000W)
冷却方式
強制空气冷却
外观尺寸
W:480mm × D:430mm × H:199mm
W:220mm × D:368mm ×
H:187mm
重量
22kg
7.5kg