FPDChina 2014 出展通知

我司将于2014年3月18日～20日在上海新国际博览中心(SNIEC)参加FPD China 2014展览会。

届时，在展会上我司将推出2台日本最先进的晶圆搬运机械手以及5台高周波电源和整合器。并对机械手作实机搬运演示，敬请前来参观并指导。

【FPD China 2014出展概要】

日期：2014年3月18日～20日

场所：上海市浦东新区龙阳路2345号

展位：N1  1401

展品：晶圆搬运用大气机器人/调准器 UTW-RD6700+Aligner OFH-4100 
　　　       晶圆搬运用大气机器人/调准器  SPR-2501+OFH4004
　　      　 等离子发生用电源 AVANCER电源 RGA-30（13,56MHz 3kW）
　　          等离子发生用电源 AVANCER电源 RGA-50（13,56MHz 5kW）
　　       　等离子发生用电源 AVANCER电源 AGA-30（60MHz 3kW）