| 机器人形状 | 4轴圆柱坐标型 | ||||||
| 自重 | 1200kg | ||||||
|
可搬重量 （含endeffector·holder） |
X1轴 | 70kg以下 | |||||
| X2轴 | 70kg以下 | ||||||
| 动作范围 | X轴 | 2924mm | |||||
| θ轴 | 330deg. | ||||||
| Z轴 | 150mm | ||||||
| 手臂长 | 840mm | ||||||
| 动作时间 （不含通信时间） | X轴 | 3.2sec./2924mm | |||||
| θ轴 | 3.1sec./180deg. | ||||||
| Z轴 | 2.6sec./150mm | ||||||
| 手臂水平精度（下垂） | P-P 24mm以下（安装holder，从法兰盘开始1500mm的位置） | ||||||
| 手臂轨迹精度（蛇行） | ±12mm以下（安装holder，从法兰盘开始1500mm的位置） | ||||||
| 重复位置精度 | XYZ方向：±0.5mm以下（安装holder，从法兰盘开始1500mm的位置） | ||||||
| 清洁度 | ISO Class 4 | ||||||
| 耐真空度 | 1.33×10-5Pa | ||||||
| 周围温度 | 真空侧：:15℃～70℃ 大气侧：15℃～35℃ | ||||||
| 耐振动 | 4.9m/sec.²以内(0.5G以下) | ||||||
| 面板搬运机械手（真空） | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm | ||
| 无Z轴 | 有Z轴 | Link | Slide | ||
| 3kg | G3 | SPR-801S | SPR-804S | ||
| 10kg | G4 | SPR-806S | |||
| 15kg | G4.5 | SPR-811S |
SPR-8110  | ||
| 50kg | G5 |
SPR-8109 | SPR-8501S | ||
| G6 |
SPR-8522 | ||||
| 70kg | G6 | SPR-8508 | |||
| 100kg | G7 |
SPR-8111 | |||
| 150kg | G6 |
SPR-8112 | SPR-8504 | ||
| G6 |
SPR-8537 | ||||
| G7.5 | SPR-8535 | ||||
| 200kg | G8.5 |
SPR-8534 | |||
| 300kg |
SPR-8524 | ||||
| 500kg | G10 | ||||
(■有生产实际)
苏公网安备 32058102001225号